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二手旧等离子刻蚀机进口清关报检报关行

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    二手旧等离子刻蚀机进口清关报检报关行



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等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中1常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式,这种设计的是富有弹性的,用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体(RIE),顺流等离子体(downstream),直接等离子体(direction plasma)。



主要企业(品牌):



国际:英国牛津仪器公司、美国Torr公司、美国Gatan公司、英国Quorum公司、美国利曼公司、美国Pelco公司。



国内:北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、中国电子科技集团第四十八所、戈德尔等离子科技(香港)控股有限公司、中国科学院微电子研究所、北方微电子、北京东方中科集成科技股份有限公司、北京创世威纳科技。



二手旧等离子刻蚀机进口提供的具体材料:



申请资料包括:



1)进口旧半导体产品备案申请书



2)申请人、收货人、发货人营业执照(复印件)



3)装运前预检验申请书



4)拟进口旧半导体产品清单(按标准格式填写,一式两份,要求以电脑打制。)



5)进口上海半导体设备描述(按网上标准格式填写)



6)其它材料(8年前制造的旧半导体晶圆产品原则上均需提供产品彩色图片/照片;制造年限久的半导体晶圆如在发运前已经维修整理,申请人可提供相关记录与证明;进口的二手大型成套半导体晶圆需提供半导体晶圆配置图、工艺流程图等资料。)



7)进口用于销售、租赁或者维修等用途且国家实施强制性产品认证制度、进口质量许可管理以及有其他规定要求的旧半导体晶圆产品的,备案申请人申请备案时必须提供相应的证明文件(复印件)



8)合同或协议



9)进口旧半导体晶圆产品拟备案工作联系单(需办理半导体晶圆证时提供)



进口二手旧等离 子刻蚀机CCIC装运前预检验工作事项:


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